Silicon nitride based coatings grown by reactive magnetron sputtering
- Författare
- Linköpings universitet Tuomas Hänninen
- (Tuomas Hänninen., Diss. Linköping : Linköpings universitet, 2018, Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2018 | Sverige, Linköping | xii, 129 sidor illustrationer | 978-91-7685-374-0 |